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電路板油墨 光刻膠 特種油墨

集成電路用光刻膠

 

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1.特別說明:

具體型號說明書及相關檢測報告請前往下載中心下載。

2.應用領域:

集成電路領域的具體應用包括:集成電路芯片制作(涉及金屬層、鈍化層、離子注入層的光刻);集成電路先進封裝等。

3. 技術參數:

集成電路用光刻膠主要技術參數:

集成電路用光刻膠系列主要包括: RD-4000、RD-6000等系列,不同系列光刻膠的主要技術參數如下:

序號

產品序列

主要參數

1

RD-4000系列


水分:<0.5%顆粒(0.5um顆粒,個/ml)<100;痕量金屬(KNaFeppb):<50;膜厚:1.0~4.5um;分辨率:0.4um(i-line曝光)


2

RD-6000系列


水分:<0.5%顆粒(0.5um顆粒,個/ml)<100;痕量金屬(KNaFeppb):<100;膜厚:3.0~15um;分辨率:0.65um(i-line曝光)


集成電路用光刻膠主要技術參數:

集成電路用光刻膠系列主要包括: RD-4000、RD-6000等系列,不同系列光刻膠的主要技術參數如下:


序號

產品序列

主要參數

1

RD-4000系列


水分:<0.5%
顆粒(0.5um顆粒,個/ml)<100
痕量金屬(KNaFeppb):<50
膜厚:1.0~4.5um
分辨率:0.4um(i-line曝光)


2

RD-6000系列


水分:<0.5%
顆粒(0.5um顆粒,個/ml)<100
痕量金屬(KNaFeppb):<100
膜厚:3.0~15um
分辨率:0.65um(i-line曝光)


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